ASML在台推進2奈米研發全球首創 經部通過申請補助

半導體設備大廠艾司摩爾（ ASML ）擴大在台投資，經濟部核定通過艾司摩爾 2 奈米晶圓光學量測設備研發製造計畫，總經費為新台幣 9.5 億元。經濟部指出， ASML 在台推進 2 奈米設備是全球首創，同時可提升本土供應鏈量能。

經濟部表示，核定通過艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」，計畫總經費為 9.5 億元，其中，經濟部補助 2.85 億元，占總經費 30 %，計畫執行期間為 2 年。

「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」聚焦 2 奈米晶圓光學量測設備研發製造，經濟部官員表示，艾司摩爾選擇在台研發全球唯一的 2 奈米量測設備，2 奈米設備未來將進駐艾司摩爾的林口新廠生產，相關的晶圓精密定位平台等核心技術也會在台灣落地。

經濟部官員表示，希望艾司摩爾投資能帶動台灣供應鏈，雙方磋商期間，經濟部在推薦合作廠商時花費較多時間討論，最終艾司摩爾同意將自給率提高至 35 %、增加 6 家台灣供應商，以及在台採購金額拉高至每年 72 億元。

經濟部官員表示，艾司摩爾選擇加大力道投資台灣，主因為台灣有供應鏈系統支持，並且接近半導體客戶和供應商，透過技術合作可提升本土供應鏈量能。

（新聞資料來源 : 中央社）