台積電爆發因光阻原料不符規格,造成晶圓 14 B 廠的 12 奈米及 16 奈米晶圓良率偏低須報廢事件,估計影響首季營收減少 5.5 億美元。台積電說,會向供應商求償。
自由時報報導,陶氏化學(Dow Chemical)是這次供應不符規格光阻原料的廠商,台積電將向陶氏化學索賠新台幣 40 億元。
台積電不評論報導內容,表示供應商這次未檢測出光阻液中會產生異質聚合物,造成台積電損失,應負責任,會跟供應商談。
只是台積電指出,不會揭露供應商名稱,也不會透露相關細節。
(新聞資料來源 : 中央社)
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